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第267 制程线路之争 (下)

新世纪之后,电子束直写技术在芯片领域的应用大部分局限于科研和掩膜领域。

    在电子芯片日益复杂的未来,加工一枚芯片的平均时间已经增长到了七个小时,如果芯片构造特别复杂加工一枚芯片的时间甚至高达六、七十个小时。

    不过在九十年代,还有企业或研发机构试图用多光速同时加工的方式来突破电

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